クリーン搬送機器事業とは？
高度なクリーン搬送技術が求められる半導体の製造・搬送工程の中で欠かせない、ロードポートやEFEMなどの製品を製造・販売している事業です。
当社では、長年、高付加価値の製品を提供しており、世界のトップブランドとして揺るぎない信頼を得ています。
1998（平成10）年にロードポートを開発、300㎜ウェーハ時代にいち早く対応し、2010（平成22）年にはウェーハ高速搬送用2リンクロボットも開発。また、2011（平成23）年には、独自開発のN₂（窒素ガス）パージ機構のロードポートを開発するなど、お客様のニーズに幅広くお応えしています。
現在、国内の工場では高付加価値のロードポートの生産と新規開発を行い、シンフォニアテクノロジー（タイ）の現地工場で一般型のロードポートを生産する体制で、世界展開を図っています。さらに、半導体分野で蓄積されたクリーン搬送技術を応用し、再生医療分野にも活躍の場を広げています。
